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制造业中气体监控系统的分析与设计

更新时间  2022-06-15 17:51 阅读
本文摘要:1 章节 在化工企业或半导体生产企业,往往在生产加工过程中要用于各种毒性或危险性气体,比如可燃性气体ph3、b2h6;腐蚀性气体cl2,hbr,nf3等等,这些气体的储存和运输必需遵从严苛的标准。在生产车间用于这些气体的过程中,可能会经常出现气体外泄的车祸情况,当某些气体浓度超过一定的标准或流体多达一定的标准时,往往不会发生爆炸或造成严重威胁人生安全性的险恶后果。

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1 章节  在化工企业或半导体生产企业,往往在生产加工过程中要用于各种毒性或危险性气体,比如可燃性气体ph3、b2h6;腐蚀性气体cl2,hbr,nf3等等,这些气体的储存和运输必需遵从严苛的标准。在生产车间用于这些气体的过程中,可能会经常出现气体外泄的车祸情况,当某些气体浓度超过一定的标准或流体多达一定的标准时,往往不会发生爆炸或造成严重威胁人生安全性的险恶后果。因此对这些危险性气体必需创建一套原始的监测系统,超过有效地的掌控和不具备较好的预警功能,以确保生产的长时间展开以及人财物的安全性。

本文将重点辩论在半导体生产行业中对危险性气体的监控系统的分析与设计。2 气体监控系统的基本需求分析  对毒性或危险性气体,在与之起到的过程中必需严格遵守涉及的标准和规定,对其设计和施工也必需合乎一定的标准和规范,最基本的拒绝如下:(1)根据气体的特性,分区存放在;(2)运送过程中抽气管道须要具备耐腐蚀性,传输管道须要具备一定的耐压、耐腐蚀性;(3)各种气体储存室和工作室以及气瓶柜都应当加装适当的监测器件监测气体浓度或压力;(4)各个仪器具备报警功能,且有较高的灵敏度;(5)坐落于防护区的监测器件须要具备防护功能;(6)为了构建系统的构建,各个监测器件须要具备开放式模块等等。

  在某晶片厂中,由于工艺的必须,要用剧毒或危险性气体,为了对气体系统展开统一的监控,避免再次发生意外事故。必须监测的项目有晶片生产过程中用于的危险性气体、有机溶剂否不存在外泄,以及工作环境中氧气的浓度,以及气瓶柜的状态等等,拒绝监控系统在气体经常出现外泄时,根据设定值来辨别再次发生外泄的区域,并收到警告信号或继续执行连锁停机操作者,当险情时通过广播表达应急撤离信息。

3 气体监控系统设计  3.1 网络设计  在气体监控系统中,牵涉到到信息监控中心、plc控制柜、现场的各种监测仪器、报警灯以及广播系统几个部分。目前而言,现场各种监测仪器以及其用于的电源线、报警器控制线以及与气瓶柜监测系统的plc的线路、应急按钮都集中于相连到plc控制柜中;信息监控中心与plc控制柜通过线路相连,构建监控数据的收集。据此分析,这流形个监控系统的网络如图1右图。

其中,气体监测器、地震仪以及应急按钮的信号是作为plc的输出信号,而报警灯、广播系统以及气瓶柜监控系统的信号是plc的输入信号,监控软件部分和plc通讯是双向的。大体的工作流程是:plc动态收集气体监测器的测量值,并辨别否超过了低值报警和高值报警的范围。

如果超过低值报警范围,掌控报警黄色灯亮,并在监控画面上表明报警的区域以及产生报警的气体监测器的方位;如果超过高值报警条件,掌控报警红色灯亮,并发出报警声音,同时适当的广播系统收到语音广播信息,在监控画面上表明报警的区域以及产生报警的气体监测器的方位,按拒绝输入重开涉及气瓶柜的信号。如果发生地如雷,plc不会收集坐落于有所不同方位的三个地震仪的检测数据,通过较为证实地震的等级,根据地如雷等级有所不同,掌控适当的报警灯、广播系统以及重开气瓶柜。在应急的情况下,可以通过应急按钮来掌控某个区域设备的关闭。

  3.2 监控软件功能设计  通过对整个气体监控系统的需求分析,设备的状态信息以及掌控动作必须在组态画面中构建。同时考虑到系统将来构建的市场需求,在组态软件上,自由选择了美国wonderware公司的intouch产品。该产品由数个组件所构成,已完成可视化、获取数据、扩展外接组件/系统、历史趋势、事件处理、报警记录、报表和分析,它是一个可获取较慢创立一个简单且功能强大的操作界面的灵活性工具,并更容易升级。


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